作者:标准资料网 时间:2024-05-15 21:17:16   浏览:8622   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardPracticesforMonitoringNon-ContactDielectricCharacterizationSystemsThroughUseofSpecialReferenceWafers
【原文标准名称】:通过使用特定的标准薄片监测非接触介电表征系统的标准实施规范
【标准号】:ASTMF2166-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:dielectrictester;dielectrictrap;effectivecharge;electricaldielectricthickness;flatbandvoltage;interfacetrap;linecorona;mobilecharge;pointcorona
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thesepracticesdescribetheuseofwaferswithspecialelectricalandphysicalcharacteristicsforcontrollingandmonitoringperformanceofnon-contactdielectriccharacterizatio
【中国标准分类号】:L04
【国际标准分类号】:19_080
【页数】:7P.;A4
【正文语种】: